性能：Performance

雙精密氣缸和固定式平台結構，精密壓頭水平調整，保証IC本壓精度為±3µm

雙壓頭結構裝置，使產能達到兩倍，產能：800-1200片/小時

雙迴路氣動緩衝裝置，精密調節保証壓頭平衡壓力均衡，粒子爆破均勻

功能：Function

將預壓對位后的IC最終本壓固化到LCD上，精度達±3µm